| 製品名 （試薬名） |
化学名 | 構造式 | 沸点 ℃ |
引火点 ℃ |
危険物 分類 |
既存化学 物質No. |
CAS No. |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| LS-260 | トリメチルシリル クルロライド |
 |
57 | -15 | 第四類 第一石油類 |
2-2041 | 75-77-4 |
| SZ-31 (LS-7150) |
ヘキサメチル ジシラザン |
 |
126 | 14 | 第四類 第一石油類 |
2-2955 または 2-2044 |
999-97-3 |
| TMST (LS-415) |
トリメチルシリルトリフロロ メタンスルホネート |
 |
140 | 40 | 第四類 第二石油類 |
2-3617 | 27607-77-8 |
| TESC (LS-1210) |
トリエチル シリルクロライド |
 |
145 | 39 | 第四類 第二石油類 |
2-2041 | 994-30-9 |
| TBMS (LS-1190) |
t-ブチルジメチル シリルクロライド |
 |
125 | 28 | 第二類 引火性固体 |
2-2041 | 18162-48-6 |
| TIPSC | トリイソプロピル シリルクロライド |
 |
59℃/ 1.07kPa |
63 | 第四類 第二石油類 |
2-2041 | 13154-24-0 |
| CIPS (LS-7612) |
1,3-ジクロロ-1,1,3,3-テトライソプロピルジシロキサン |  |
108℃/ 0.53kPa |
110 | 第四類 第三石油類 |
2-3942 | 69304-37-6 |
| CMTMS (LS-460) |
クロロメチル トリメチルシラン |
 |
97 | < -2 | 第四類 第一石油類 |
2-3846 | 2344-80-1 |
| TES (LS-1320) |
トリエチルシラン |  |
107 | -1 | 第四類 第一石油類 |
少量新規 登録済 |
617-86-7 |
| HBS | t-ブチルジメチルシラン |  |
86 | -14 | 第四類 第一石油類 |
2-3696 | 29681-57-0 |
| TMSA (LS-610) |
トリメチル シリルアセチレン |
 |
53 | -34 | 第四類 第一石油類 |
2-3779 | 1066-54-2 |
| PMDS (LS-7120) |
ヘキサメチルジシラン |  |
112 | -9 | 第四類 第一石油類 |
2-3711 | 1450-14-2 |
| ATMS (LS-1100) |
アリルトリメチルシラン |  |
86 | 7 | 第四類 第一石油類 |
2-3737 | 762-72-1 |
| TMVS (LS-720) |
トリメチルビニルシラン |  |
54 | -34 | 第四類 第一石油類 |
2-4007 | 754-05-2 |
※ 1kPa： 7.5mmHg
（規格値ではありません）