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アプリケーション例

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クリーンルーム用シリコーンシーラント

ピュアシーラント、ピュアシーラントSタイプ

ピュアシーラントは、空気中の湿気と反応して室温で硬化する接着性に優れた弾性シーリング材です。特に高いクリーン度が要求されるクリーンルーム、化学的な汚染制御が必要なクリーンルームの目地や半導体製造機器類の気密シールに最適です。
オキシム型のピュアシーラントとアセトン型のピュアシーラントSタイプがあり、特にピュアシーラントSタイプは、低分子シロキサンの揮散を極限までおさえているのに加え、揮散する有機化合物質の大幅な低下も可能にしたタイプです。

特長

用途

色の種類

一般特性

項目 ピュアシーラント ピュアシーラントSタイプ

硬化前

外観

ペースト状 ペースト状

流動性

なし なし

タックフリータイム
23℃/50%RH

min
3 3

硬化後

※1

外観

ゴム弾性体 ゴム弾性体

密度 23℃

g/cm3
1.05 1.05

硬さ デュロメータA

44 37

切断時伸び

%
340 360

引張り強さ

MPa
2.70 2.60

※2

50%引張応力

N/mm2
0.70 0.50

最大引張応力

N/mm2
0.76 0.70

最大荷重時の伸び

%
70 100

凝集破壊率

%
100 100

※3

低分子シロキサン量

ppm
60 40

※4

リン元素

ppm
1 > 1 >

ホウ素元素

ppm
1 > 1 >

アンチモン元素

ppm
1 > 1 >

※ 1: シート物性(JIS K 6249に準じて測定) 硬化条件 : 23℃/50%RHで7日間
※ 2: H型ブロック物性(JIS A 5758に準じて測定)
        被着体:フロートガラス、硬化条件 : 23℃/50%RHで14日間→30℃で14日間
※ 3: 環状体3量体から20量体(D3~D20)までのトータル値。
        硬化サンプルをアセトンで抽出し、ガスクロマトグラフィーにて定量
※ 4: ICP発光分光法にて定量

(規格値ではありません)

データ

低分子シロキサンの抽出測定結果

■ サンプル作成 ■ 抽出および測定方法 ■ 測定結果

低分子シロキサン

抽出環状体 ピュアシーラント ピュアシーラントSタイプ 当社汎用品
D3 10 > 10 > 10 >
D4 10 > 10 > 10 >
D5 10 > 10 > 130
D6 10 > 10 > 340
D7 10 > 10 > 240
D8 10 > 10 > 260
D9 10 > 10 > 280
D10 10 > 10 > 340
ΣD3 - 10 1,590
D11 10 > 10 > 400
D12 10 > 10 > 460
D13 10 > 10 > 670
D14 10 > 10 > 870
D15 10 > 10 > 1,020
D16 10 > 10 > 1,170
D17 20 10 1,190
D18 20 10 1,220
D19 10 10 1,260
D20 10 10 1,630
ΣD11 - 20 60 40 9,890

10 > : 検出限界

(規格値ではありません)

■ 抽出された低分子シロキサンのガスクロマトグラム

抽出された低分子シロキサンのガスクロマトグラム
ピュアシーラント、ピュアシーラントSタイプの抽出低分子シロキサンは、
各環状体のうちD17からD20までの4種が検出され、
その合計はそれぞれ60ppm、40ppmであった。抽出環状体のほとんどについて、
当社従来品に比べ抽出量が極めて少ないことを示している。

■ 低分子シロキサン

低分子シロキサン

低分子シロキサンの気相中揮散測定結果

■ サンプル作成 ■ 抽出および測定方法 ■ 測定結果

低分子シロキサン揮散量 (単位 : µg/l)

気相吸引条件 ピュアシーラント 当社汎用品
25℃ 24時間密閉後 1 > 610
80℃ 24時間密閉後 10 6,500
(規格値ではありません)

ピュアシーラントは、当社従来品に比べて低分子シロキサンの揮散量が極めて少ないことを示している。したがって、実際のクリーンルーム気相中の低分子シロキサンの揮散量は、さらに低いレベルになると推定される。

シリコンウエハー表面への発生ガス吸着試験結果(JACA, No.34-1999)

■ 測定方法 ■ 測定結果

シリコンウエハー表面への発生ガス吸着量(n-C16H34 相当値) (単位: ng/cm2

  ピュアシーラント ピュアシーラント
Sタイプ
当社汎用品 他社シロキサン
対策品
シロキサン 0.01 > 0.01 > 1.7 0.34
シロキサン以外 1.40 0.04 1.8 1.39
トータル有機化合物 1.40 0.04 3.5 1.73
(規格値ではありません)
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